测控仪器中，精密机械系统的设计起着十分重要的作用：对仪器各部分组成起着支撑的作用，保证完成各种复杂的测量工作，以获取被测量的各种信息，对保证测量精度，定位精度和运动精度起着关键的作用。
精密机械系统的精度要求：包括工件的基座、支撑架、导轨、测量头架、尾架、机械和读数机构。基座变形控制在亚微。主轴的回转精度达到0.01微米。
精密机械系统的功能要求：对运动部分进行实时监测和控制，对点、线和空间曲面进行检测、自动采集和处理数据。为达到以上要求，不仅要提高机构本身的精度和功能，需与计算机、光学电气、液压等技术相结合，从而达到高精度、高效率和多功能的要求。
